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什么是艾斯麦光刻机?

作者:清驰电机网
文章来源:本站

  就是阿斯麦公司生产的高精端产品光刻机。

  阿斯麦为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,比如英特尔、三星、海力士、台积电、中芯国际等。

  阿斯麦正在加紧研制基于极紫外(EUV)光源的新型光刻机,型号定为NXE系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显著提高集成电路质量。

  ASML是荷兰光刻机,垄断了浸润式光刻机产业,产品主要用于生产手机芯片。

  

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