阿斯麦尔光刻机用的是美国激光光源。

　　荷兰阿斯麦尔光刻机是在荷兰组装的，其部件多达十万个，很多零部件都是来自其他国家的顶尖科技产品，比如美国产的光源，德国蔡司的镜头，以及日本电机等。其中阿斯麦尔的光刻机光源是13.5纳米极紫外光光源，是由美国企业cymer提供的。